Focus distance modulated fibre-coupled confocal sensor for surface metrology (MoKoSens)

Third party funded individual grant

Acronym: MoKoSens

Start date : 01.05.2016

End date : 30.04.2019

Extension date: 30.11.2019

Overview

Publications

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Stitched open-loop measurements with a focal-distance-modulated confocal sensor (2021) Schaude J, Gröschl AC, Hausotte T Journal article Large range closed-loop scans with a focal-distance-modulated confocal sensor (2020) Schaude J, Gröschl AC, Hausotte T Journal article Evaluation und Korrektur thermischer Driften eines hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten konfokalen Punktsensors (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article, Online publication Evaluation und Justierung eines neuartigen, hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensors für axial geregelte Oberflächenmessungen mit einem Nanokoordinatenmessgerät (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article Evaluation of the optical performance of a novel high-speed focal-distance-modulated fibre-coupled confocal sensor (2019) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Conference contribution Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor (2018) Gröschl AC, Schaude J, Hausotte T Journal article Improvements of a high-speed focus distance modulated fibrecoupled confocal sensor for nanocoordinate measuring systems (2018) Gröschl AC, Köhnen S, Schaude J, Hausotte T Conference contribution, Conference Contribution High-speed focal-distance-modulated fiber-coupled confocal sensor for coordinate measuring systems (2018) Hausotte T, Gröschl AC, Schaude J Journal article, Review article